최근 해외 여러 국가에서 과불화화합물(PFAS)에 대한 경고음이 울리는 가운데, 일본 반도체 기업들이 PFAS를 사용하지 않는 소재 개발에 나서고 있다. 과불화화합물(PFAS)은 반도체뿐만 아니라 식품포장, 조리기구 등 널리 사용되고 있지만 잘 분해되지 않아 ‘영원한 유해 화학물질’이라 불린다.

PFAS는 열에 강한 특성으로 반도체 생산에 활용되는데 최근 유해성이 지적되며 유럽에서 규제 강화를 위한 논의도 이루어지고 있는 상황이다. 이에 일본 반도체 관련 제조사들 사이에서 PFAS를 사용하지 않는 소재를 개발 중인 것으로 알려졌다.

19일 NHK에 따르면, 반도체 보호 필름 생산 기업 ‘도레이’는 지난해 PFAS를 사용하지 않는 필름을 개발했다. 부드럽고 강도 높은 폴리에스테르를 활용하여 양산화도 시작했다고 한다. 오사다 도레이필름연구소 소장은 NHK 인터뷰에서 “새로운 재료로 환경에 부담이 적은 제품을 제안해 나갈 것”이라고 밝혔다.

또, ‘DIC’는 반도체 기판이 되는 실리콘 웨이퍼에 회로를 만들 때에 사용하는 계면활성제에 PFAS를 사용하지 않는 새로운 제품을 개발했고, ‘미쓰비시 케미컬 그룹’이나 ‘미쓰이 화학’도 다른 용도로 활용하고 있는 소재를 반도체 분야에 응용하기 위해 연구를 추진하는 등 사업 및 개발 전략을 재검토하는 움직임이 잇따르고 있다.

(취재 기자: 나인아 [email protected])